반도체 히팅플렉시블 제품구성
Semiconductor Bellows
Semicouductor Heating Flexible
반도체 히팅플렉시블 제품구성
구분 | 설명 |
① | 모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서) |
② | 전원부 하우징 커버 |
③ | 전원케이블 커넥터 |
④ | Outer Bellows (Alloy926) |
⑤ | Inner Bellows (Alloy926) |
⑥ | Inner Interlock (Alloy926) |
⑦ | 열선 |
⑧ | Controller |
반도체 히팅플렉시블 "제품구성"
Semiconductor Bellows
Semicouductor Heating Flexible
반도체 히팅플렉시블 제품구성
구분 | 설명 |
① | 모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서) |
② | 전원부 하우징 커버 |
③ | 전원케이블 커넥터 |
④ | Outer Bellows (Alloy926) |
⑤ | Inner Bellows (Alloy926) |
⑥ | Inner Interlock (Alloy926) |
⑦ | 열선 |
⑧ | Controller |
컨트롤러부 세부 사양
Controller Part Specification
항목 | 기존제품 (MR2동) | 신제품 (설비기술연구소) |
제품/UNIT 규격 | - CASE 규격 : W340 D330 H260 - UNIT 규격 : W50 D210 H180 Matrix 조합형 | |
제어 | - 온도제어(PID) - 온도/압력 모니터링 | - 온도제어(PID) - 온도/압력 모니터링 - 산소 모니터링 |
제어/출력방식 | - Digital PID Control - 측정값에 비례한 제어출력 (PID FUZZY 방식) | |
공급전원 | - AC 220V 60Hz (AC 110V ~ 380V 10%, 50/60/70Hz) | |
최대전류 | - 50A Max | |
디스플레이 | - Segment LED | |
채널 | - 4ch. - TCU / TEMP01 / TEMP02 / PRESSURE | - 5ch. - TCU / TEMP01 / TEMP02 / PRESSURE / OXYGEN |
안전 시스템 | - 200±50℃ 전원차단 (CONTROLLER) - 250℃ 이상 전원차단 (THERMOCOUPLE) - 과전류 전원차단(컨트롤러) | |
모니터링 시스템 | - 온도센서 : 열전쌍 K, J Type - 압력센서 : 10Bar 0~20mA - 산소센서 : 0.00 ~ 100.00%, 0~20mA | |
통신 | - 통신 : Modebus Protocol - 포트 : RS485 (삼성전자반도체 내 통신 테스트 완료 - 인프라 구축팀) | |
제어 온도 | - 0 ~ 999℃ | |
온도 안정도 | - 동작온도 범위 내 ± 0.5 % (측정 온도 범위) | |
센서 정밀도 | - ± 1% of Full Scale |
⑧ 컨트롤러부 통신 방법
How to use about Modebus Protocol
※ TMP01(국번 : 01H)의 8개 번지(00000 ~ 00007) 전체 데이터를 읽어오는 예시입니다.
Request (Master 측)
* 실제 사용 테이터 (CRC 제외)
국번 | Function Code | 시작번지 | 데이터 개수 | CRC 16 | ||||
Hi | Lo | Hi | Lo | Lo | Hi | |||
01H | 03H | 00H | 00H | 00H | 08H | **H | **H |
Request (Master 측)
* 실제 사용 테이터 (CRC 제외)
국 번 | F U N C | 바 이 트 수 | 현재상태 및 에러 | 현재 온도 | 설정 온도 | 상한 값 | 하한 값 | 히터단선 전류 값 | 과전류 값 | 소비전류 | CRC 16 | |||||||||
Hi | Lo | Hi | Lo | Hi | Lo | Hi | Lo | Hi | Lo | Hi | Lo | Hi | Lo | Hi | Lo | Lo | Hi | |||
01H | 03H | 10H | 00H | 00H | 04H | EFH | 00H | 78H | 00H | 32H | 00H | 32H | 00H | 02H | 00H | A0H | 00H | 17H | **H | **H |
국번 | 0x01 → TMP01 국번 1 | 상한 값 | 0x0032 (=50) → 50도 |
FUNC | 0x03 (Read Holding Registers) | 하한 값 | 0x0032 (=50) → 50도 |
바이트 수 | 0x10 (=16) → 16바이트 | 히터단선 전류값 | 0x0002 (=2) → 0.2A |
현재상태 및 에러 | 0x0000 → 전체 정상 | 과전류 값 | 0x00A0 (=160) → 16.0A |
현재 온도 | 0x04EF (=1263) → 126.3℃ | 소비 전류 | 0x0017 (=23) → 2.3A |
설정 온도 | 0x0078 (=120) → 120℃ |
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E-Mail : christy@unions.co.kr
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군산공장 TEL : 063-468-1345 FAX : 063-468-1346
오시는 길
천안본사 : 충청남도 천안시 서북구 성환읍 율금3길 14
군산공장 : 전라북도 군산시 산단남북로 154-22 (오식도동)
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