반도체 히팅플렉시블 제품구성

Semiconductor Bellows

Semicouductor Heating Flexible

반도체 히팅플렉시블 제품구성

구분설명

모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서)

전원부 하우징 커버

전원케이블 커넥터

Outer Bellows (Alloy926)

Inner Bellows (Alloy926)

Inner Interlock (Alloy926)

열선

Controller

컨트롤러부 Controller Part

- 반도체 히팅플렉시블의 조작을 담당하는 부분

반도체 히팅플렉시블 "제품구성"

Semiconductor Bellows

Semicouductor Heating Flexible

반도체 히팅플렉시블 제품구성


구분설명
모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서)
전원부 하우징 커버
전원케이블 커넥터
Outer Bellows (Alloy926)
Inner Bellows (Alloy926)
Inner Interlock (Alloy926)
열선
Controller
⑧ 컨트롤러부 Controller Part
        반도체 히팅플렉시블의 조작을 담당하는 부분

컨트롤러부 세부 사양

Controller Part Specification

항목기존제품 (MR2동)신제품 (설비기술연구소)
제품/UNIT 규격- CASE 규격 : W340 D330 H260
- UNIT 규격 : W50 D210 H180 Matrix 조합형
제어- 온도제어(PID)
- 온도/압력 모니터링
- 온도제어(PID)
- 온도/압력 모니터링
- 산소 모니터링
제어/출력방식- Digital PID Control
- 측정값에 비례한 제어출력 (PID FUZZY 방식)
공급전원- AC 220V 60Hz (AC 110V ~ 380V 10%, 50/60/70Hz)
최대전류- 50A Max
디스플레이- Segment LED
채널- 4ch.
- TCU / TEMP01 / TEMP02 / PRESSURE
- 5ch.
- TCU / TEMP01 / TEMP02 / PRESSURE / OXYGEN
안전 시스템

- 200±50℃ 전원차단 (CONTROLLER)

- 250℃ 이상 전원차단 (THERMOCOUPLE)

- 과전류 전원차단(컨트롤러) 

모니터링 시스템- 온도센서 : 열전쌍 K, J Type
- 압력센서 : 10Bar 0~20mA
- 산소센서 : 0.00 ~ 100.00%, 0~20mA
통신- 통신 : Modebus Protocol
- 포트 : RS485
(삼성전자반도체 내 통신 테스트 완료 - 인프라 구축팀)
제어 온도 - 0 ~ 999℃
온도 안정도- 동작온도 범위 내 ± 0.5 % (측정 온도 범위)
센서 정밀도- ± 1% of Full Scale

⑧ 컨트롤러부 통신 방법

How to use about Modebus Protocol

※ TMP01(국번 : 01H)의 8개 번지(00000 ~ 00007) 전체 데이터를 읽어오는 예시입니다.

Request (Master 측)

* 실제 사용 테이터 (CRC 제외)

국번
Function Code
시작번지
데이터 개수
CRC 16
Hi
Lo
Hi
Lo
Lo
Hi
01H
03H
00H
00H
00H
08H
**H
**H

Request (Master 측)

* 실제 사용 테이터 (CRC 제외)

F
U
N
C

현재상태 및

에러

현재 온도
설정 온도
상한 값
하한 값
히터단선

전류 값

과전류 값
소비전류
CRC 16
Hi
Lo
Hi
Lo
Hi
Lo
Hi
Lo
Hi
Lo
Hi
Lo
Hi
Lo
Hi
Lo
Lo
Hi
01H
03H
10H
00H
00H
04H
EFH
00H
78H
00H
32H
00H
32H
00H
02H
00H
A0H
00H
17H
**H
**H
국번
0x01 → TMP01 국번 1
상한 값
0x0032 (=50) → 50도
FUNC
0x03 (Read Holding Registers)
하한 값
0x0032 (=50) → 50도
바이트 수
0x10 (=16) → 16바이트
히터단선 전류값
0x0002 (=2) → 0.2A
현재상태 및 에러
0x0000 → 전체 정상
과전류 값
0x00A0 (=160) → 16.0A
현재 온도
0x04EF (=1263) → 126.3℃
소비 전류
0x0017 (=23) → 2.3A
설정 온도
0x0078 (=120) → 120℃

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오시는 길
천안본사 : 충청남도 천안시 서북구 성환읍 율금3길 14

군산공장 : 전라북도 군산시 산단남북로 154-22 (오식도동)


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