반도체 히팅플렉시블 제품구성
Semiconductor Bellows
Semicouductor Heating Flexible
반도체 히팅플렉시블 제품구성
구분 | 설명 |
① | 모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서) |
② | 전원부 하우징 커버 |
③ | 전원케이블 커넥터 |
④ | Outer Bellows (Alloy926) |
⑤ | Inner Bellows (Alloy926) |
⑥ | Inner Interlock (Alloy926) |
⑦ | 열선 |
⑧ | Controller |
클릭 시 확대 가능
온도부 Temperature Part
반도체 히팅플렉시블의 온도 측정에 이용되는 부분
온도부의 온도분 측정 방식
30분 안정화 후 측정하여 5분 간격으로 계측함
① Controller Target Temp (SV, Set Value) - 180 ~ 220℃
② 승온시간 (X1) - 20 ~ 50분
③ 유지(안전화)시간 (X2) - 30분
④ 유지시간 (X3) - 20분
⑤ Xt = X1 + X2 + X3
반도체 히팅플렉시블 "제품구성"
Semiconductor Bellows
Semicouductor Heating Flexible
반도체 히팅플렉시블 제품구성
구분 | 설명 |
① | 모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서) |
② | 전원부 하우징 커버 |
③ | 전원케이블 커넥터 |
④ | Outer Bellows (Alloy926) |
⑤ | Inner Bellows (Alloy926) |
⑥ | Inner Interlock (Alloy926) |
⑦ | 열선 |
⑧ | Controller |
클릭 시 확대 가능
Temperature Part
온도부
반도체 히팅플렉시블의 온도 측정에 이용되는 부분
온도부의 온도분 측정 방식, 30분 안정화 후 측정하여 5분 간격으로 계측함
① Controller Target Temp (SV, Set Value) - 180 ~ 220℃
② 승온시간 (X1) - 20 ~ 50분
③ 유지(안전화)시간 (X2) - 30분
④ 유지시간 (X3) - 20분
⑤ Xt = X1 + X2 + X3
온도부 세부 사양
Temperature Part Specification
항목 | 기존제품 (MR2동) | 신제품 (설비기술연구소) | |
열선 | Length | 17.0M | 22.0M |
Total Ω | 23.7Ω | 21.6Ω | |
Ampere | 8.8A | 9.6A | |
Power | 1826.0W | 1998.5W | |
온도분포 | 내벽온도 | 200℃ | 260℃ |
내벽온도편차 (위치) | ±10℃ 이내 | ±10℃ 이내 | |
내벽온도편차 (시간) | ±5℃ 이내 | ±5℃ 이내 |
법인명 : (주)유니온기업
대표자 : 조경상 사업자등록번호 : 124-87-03231
법인등록번호 : 134811-0201260
TEL : 041-415-0707 FAX : 041-415-0708
E-Mail : christy@unions.co.kr
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천안본사 TEL : 041-415-0707 FAX : 041-415-0708
군산공장 TEL : 063-468-1345 FAX : 063-468-1346
오시는 길
천안본사 : 충청남도 천안시 서북구 성환읍 율금3길 14
군산공장 : 전라북도 군산시 산단남북로 154-22 (오식도동)
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군산공장 : 전라북도 군산시 산단남북로 154-22 (오식도동)