반도체 히팅플렉시블 제품구성
Semiconductor Bellows
Semicouductor Heating Flexible
반도체 히팅플렉시블 제품구성
구분 | 설명 |
① | 모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서) |
② | 전원부 하우징 커버 |
③ | 전원케이블 커넥터 |
④ | Outer Bellows (Alloy926) |
⑤ | Inner Bellows (Alloy926) |
⑥ | Inner Interlock (Alloy926) |
⑦ | 열선 |
⑧ | Controller |
모니터링 시스템 Monitoring System
- 반도체 히팅플렉시블의 전체적인 상태를 모니터링하는 시스템
- 누기감지센서 및 이중 Fool Proof System 적용
- 누기 감지를 위한 밀폐공간 구조 설계
- 센서 모니터링 디스플레이 및 Alarm LED
반도체 히팅플렉시블 "제품구성"
Semiconductor Bellows
Semicouductor Heating Flexible
반도체 히팅플렉시블 제품구성
구분 | 설명 |
① | 모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서) |
② | 전원부 하우징 커버 |
③ | 전원케이블 커넥터 |
④ | Outer Bellows (Alloy926) |
⑤ | Inner Bellows (Alloy926) |
⑥ | Inner Interlock (Alloy926) |
⑦ | 열선 |
⑧ | Controller |
Monitoring System
모니터링 시스템
- 반도체 히팅플렉시블의 전체적인 상태를 모니터링하는 시스템
- 누기감지센서 및 이중 Fool Proof System 적용
- 누기 감지를 위한 밀폐공간 구조 설계
- 센서 모니터링 디스플레이 및 Alarm LED
누기 감지를 위한 안전 장치
Safety Device for detect leeks
누기 감지를 위한 안전 장치 (누기센서의 센싱 방법) | |||
① PH변화 | ② 압력변화 | ③ 산소센서 | |
특징 | - 밀폐구간 PH농도 변화 감지 | - 밀폐구간 압력변화 감지 | - 밀페구간 산소농도 변화 감지 |
비고 | - 육안으로 확인 - 200℃ 이상 사용시, 육안확인 어려움 - 통신 불가능 | - 컨트롤러 연계 통신기능 추가 (사전감지) | - 컨트롤러 연계 통신기능 추가 (사전감지) - 신뢰성이 가장 높음 |
사진 |
압력 센서와 산소 센서
Pressure Sensor & Oxygen Sensor
LED Type | Zirconia Type | |
검출방법 | Optical | Electro-chemical |
작동온도 | ~50℃ | ~250℃ |
Packaging | Plastic (※ Metal 개발 중) | Metal |
검출항목 | Temp, Pressure, O2 | O2 Only |
사진 |
Fool Proof System
Duplication Safety System
SOFT
- 200±50℃ 전원차단 (Controller)
- 과전류 전원차단(프로그래밍)
- 누기 발생 경고 (압력모니터링)
HARD
- 250℃ 이상 전원차단 (바이메탈 적)
- 과전류 전원차단(퓨즈)
센서 모니터링 디스플레이 / Alarm LED
Sensor Monitoring Display / Alarm LED
기본 구성 | 명칭 | 용도 | 비고 |
1번 포트 | TMP01 | TCU | - 온도 제어용 |
2번 포트 | TMP02 | DISPLAY | - Scrubber (Center 온도확인) |
3번 포트 | TMP03 | DISPLAY | - Center (Pump 온도확인) |
4번 포트 | TMP04 | DISPLAY | - Pump 온도 확인 |
5번 포트 | PRE01 | DISPLAY | - 누기감지용 압력센서 |
6번 포트 | OXY01 | DISPLAY | - 누기감지용 산소센서 |
법인명 : (주)유니온기업
대표자 : 조경상 사업자등록번호 : 124-87-03231
법인등록번호 : 134811-0201260
TEL : 041-415-0707 FAX : 041-415-0708
E-Mail : christy@unions.co.kr
(주)유니온기업
천안본사 TEL : 041-415-0707 FAX : 041-415-0708
군산공장 TEL : 063-468-1345 FAX : 063-468-1346
오시는 길
천안본사 : 충청남도 천안시 서북구 성환읍 율금3길 14
군산공장 : 전라북도 군산시 산단남북로 154-22 (오식도동)
Copyright 2023 (주)유니온기업 All rights Reserved.
개인정보처리방침
법인명 : (주)유니온기업
대표자 : 조경상 사업자등록번호 : 124-87-03231
법인등록번호 : 134811-0201260
TEL : 041-415-0707 FAX : 041-415-0708
E-Mail : christy@unions.co.kr
Copyright 2023 (주)유니온기업 All rights Reserved. 개인정보처리방침
(주)유니온기업
천안본사 TEL : 041-415-0707 FAX : 041-415-0708
군산공장 TEL : 063-468-1345 FAX : 063-468-1346
오시는 길
천안본사 : 충청남도 천안시 서북구 성환읍 율금3길 14
군산공장 : 전라북도 군산시 산단남북로 154-22 (오식도동)