반도체 히팅플렉시블 제품구성

Semiconductor Bellows

Semicouductor Heating Flexible

반도체 히팅플렉시블 제품구성

구분설명

모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서)

전원부 하우징 커버

전원케이블 커넥터

Outer Bellows (Alloy926)

Inner Bellows (Alloy926)

Inner Interlock (Alloy926)

열선

Controller

모니터링 시스템 Monitoring System

- 반도체 히팅플렉시블의 전체적인 상태를 모니터링하는 시스템 

- 누기감지센서 및 이중 Fool Proof System 적용 

- 누기 감지를 위한 밀폐공간 구조 설계 

- 센서 모니터링 디스플레이 및 Alarm LED

반도체 히팅플렉시블 "제품구성"

Semiconductor Bellows

Semicouductor Heating Flexible

반도체 히팅플렉시블 제품구성


구분설명
모니터링용 센서부 (압력센서 / 산소센서)
전원부 하우징 커버
전원케이블 커넥터
Outer Bellows (Alloy926)
Inner Bellows (Alloy926)
Inner Interlock (Alloy926)
열선
Controller

Monitoring System

모니터링 시스템


- 반도체 히팅플렉시블의 전체적인 상태를 모니터링하는 시스템

- 누기감지센서 및 이중 Fool Proof System 적용

- 누기 감지를 위한 밀폐공간 구조 설계

- 센서 모니터링 디스플레이 및 Alarm LED




누기 감지를 위한 안전 장치

Safety Device for detect leeks


누기 감지를 위한 안전 장치 (누기센서의 센싱 방법)

① PH변화

② 압력변화

③ 산소센서

특징

- 밀폐구간 PH농도 변화 감지

- 밀폐구간 압력변화 감지

- 밀페구간 산소농도 변화 감지

비고

- 육안으로 확인

- 200℃ 이상 사용시, 육안확인 어려움

- 통신 불가능

- 컨트롤러 연계 통신기능 추가 (사전감지)

- 컨트롤러 연계 통신기능 추가 (사전감지)

- 신뢰성이 가장 높음

사진


압력 센서와 산소 센서

Pressure Sensor & Oxygen Sensor


LED Type

Zirconia Type

검출방법

Optical

Electro-chemical

작동온도

~50℃

~250℃

Packaging

Plastic (※ Metal 개발 중)

Metal

검출항목

Temp, Pressure, O2

O2 Only

사진


Fool Proof System

Duplication Safety System

SOFT

-  200±50℃ 전원차단 (Controller)

-  과전류 전원차단(프로그래밍)

-  누기 발생 경고 (압력모니터링)

HARD

-  250℃ 이상 전원차단 (바이메탈 적)

-  과전류 전원차단(퓨즈)



센서 모니터링 디스플레이 / Alarm LED

Sensor Monitoring Display / Alarm LED

기본 구성

명칭

용도

비고

1번 포트

TMP01

TCU

- 온도 제어용

2번 포트

TMP02

DISPLAY

- Scrubber 

   (Center 온도확인)

3번 포트

TMP03

DISPLAY

- Center 

   (Pump 온도확인)

4번 포트

TMP04

DISPLAY

- Pump 온도 확인

5번 포트

PRE01

DISPLAY

- 누기감지용 압력센서

6번 포트

OXY01

DISPLAY

- 누기감지용 산소센서

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오시는 길
천안본사 : 충청남도 천안시 서북구 성환읍 율금3길 14

군산공장 : 전라북도 군산시 산단남북로 154-22 (오식도동)


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