반도체 히팅플렉시블
Semiconductor Bellows
충남특화 산업육성협약 체결
충남특화 산업육성과제 선정
산업포장 수상
DS부문 설비기술연구소 기능평가
DS부문 설비기술연구소 기능평가
DS부문 설비기술연구소 기능평가
DS부문 설비기술연구소 기능평가
삼성전자 기능평가
삼성전자 기능평가
Performance & Instances
제품 성과/사례
- 반도체 히팅플렉시블의 실제 성과와 적용 사례
- 국책 R&D 과제 수행과 산업육성협약
- DS부문 설비기술연구소, 삼성전자, SK하이닉스 등 기능평가
- 우수한 평가에 따른 납품 성공 실적 보유함
국책(R&D) 과제
Research and Development Project
▶ 국책과제 명칭 반도체/디스플레이 공정 파우더 침전 대응
플렉서블 히트트레이싱 파이프 개발 (P0004926)
▶ 국책과제 수행기간 2017년 3월 ~ 2019년 3월
▶ 국책과제 수행 성과 2017년 산업포장수상
2018년 충남지역 특화 산업육성 과제 선정
2019년 충남 특화 산업육성 협약
산업포장 수상
충남 특화 산업육성과제 선정
충남 특화 산업육성 협약 체결
DS부문 설비기술연구소 기능평가
Evaluation of Function
기능시험 사진
Function Test
정량적 목표 및 결과
Objective and Result
No. | 평가항목 | 단위 | 개발 요구사항 | 결과 | 실적 | 입회기관/기업 |
1 | 전력소모 | Wh | 1500↓ | PASS | about 1480 | 한국자동차 연구원 |
2 | 경량화 | kg/M | 6↓ | PASS | 5.56kg/M | 한국자동차 연구원 |
3 | 피복재 표면온도 | ℃ | 80↓ | PASS | 70↓ | 한국자동차 연구원 |
4 | 누기(압력)센서 측정범위 | bar | ±1 | PASS | 별도 성적서 첨부 | 성적서 제출 |
5 | 누기(산소)센서 측정범위 | % | 0~25 | PASS | 별도 성적서 첨부 | 성적서 제출 |
6 | 컨트롤러 분해능 | ℃ | ±2↓ | PASS | 별도 성적서 첨부 | 성적서 제출 |
7 | 내벽온도 | ℃ | 260↑ | PASS | about 300℃ | 한국자동차 연구원 |
8 | 내벽온도 Uniformity(위치) | ℃ | ±10↓ | PASS | 0.2 ~ 9.4℃ | 한국자동차 연구원 |
9 | 내벽온도 Uniformity(시간) | ℃ | ±5↓ | PASS | 1.0 ~ 3.6℃ | 한국자동차 연구원 |
삼성전자 기능평가
Evaluation of Function by Samsung Electronics Co., Ltd
▶ 평가부서 NRD설비기술그룹
▶ 도입배경 Metal 공정 PCS 구간 Powder Deposite 개선
▶ 평가개요 평가라인 - MR2동 Metal 공정
평가기간 - 2020년 3월 ~ 2022년 3월 (약 2년)
1차 결과보고('21. 03) - 진공배관 PM주기 13배 ↑
- 진공펌프 교체주기 7배 ↑
구분 | 자사 제품 (유니온기업) | 타사 제품 |
최대 온도 | 260℃ | 240℃ |
온도편차 | ±8℃ | ±60℃ ~ ±70℃ (SK하이닉스 평가결과) |
평가 현황 | MR2동 평가 중 | 화성, 평택 설치운영 중 |
비고 | 약 2년간 파우더 막힘 없음 | 배관 PM 중으로 예상됨 |
SK하이닉스 기능평가
Evaluation of Function by SK Hynix
배관내 파우더 침전 거의 없음 (600일)
클릭 시 확대 가능
Pump - Scrubber 구간 시험결과 (편차 ±10℃ 미만)
납품 실적
Delivery Result
2014년부터 S사와 동일하게 Demo평가 이후 4대 공정에 현재까지 총 2,513개 납품 완료
평균 사용기간 2.0 ~ 2.5년 (최장 3.5년)
LDFHS180 설치 후 파우더 막힘 현상 없음
납품년도 | 2014년 | 2015년 | 2016년 | 2017년 | 2018년 | 2019년 | 2020년 | 2021년 |
56 | 50 | 108 | 574 | 532 | 325 | 469 | 399 |
| 유니온기업 히팅플렉시블 파이프 제품 적용 예시 | |||
제품 | LDFHS 180 | LDFHS 200 | LDFHS 260 |
사양 (히팅온도기준) | 180℃ | 200℃ | 260℃ |
적용 라인 | - SK하이닉스 | - MR2동 | - 삼성전자설비기술연구소 (요소기술개발팀) - P3용 |
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E-Mail : christy@unions.co.kr
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군산공장 TEL : 063-468-1345 FAX : 063-468-1346
오시는 길
천안본사 : 충청남도 천안시 서북구 성환읍 율금3길 14
군산공장 : 전라북도 군산시 산단남북로 154-22 (오식도동)
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